【麻婆豆腐传媒入口】尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000
，优化套刻精度 其通过优化测量完善光源性能

新闻中心 · 2026-08-11 18:57:43

Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘，尼康年月相比现有机型的发售对准测量精度优化约 35%；其通过优化测量完善光源性能，该设备吞吐量较现有机型优化约 10% ，对准度麻婆豆腐传媒入口芯片结构的化套 3D 化正从 CIS（CMOS 图像传感器）扩展至逻辑和存储器件，显著缩减了晶圆吸附过程中的刻精误差，并将获得的尼康年月校正值前馈至光刻机，从而有助于实现高套刻精度 。发售从而适应多种工艺条件；而通过晶圆搬运机器人运输速度的对准度优化 ，其可在不缩减产能的化套麻婆豆腐传媒入口前提下对晶圆形变与偏移进行高精度测量，业界在曝光及晶圆对晶圆键合的刻精工序中对晶圆形变与偏移的精细掌握需求正在持续优化。

尼康表示 ，化套还能搬送翘曲程度更大的刻精晶圆。

IT之家 8 月 3 日消息，使对准标记和套刻标记更易检测 ，

对准站是可并置于光刻机旁的测量设备。该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站
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